ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ЛСкция 7. ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ ΡƒΠ·Π»Ρ‹

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ЛСкция 7. ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ ΡƒΠ·Π»Ρ‹.

Β· ΠŸΠΎΠ½ΡΡ‚ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.

Β· ЭлСктричСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Β· ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Β· ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ конструкции ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

7.1. ΠŸΠΎΠ½ΡΡ‚ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

Π˜Π·ΠΎΠ»ΡΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ основаниС с нанСсСнным Π½Π° Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠΎΠΌ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ использования ΠΈ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСссов сборки радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ Π΅Ρ‘ Π½Π°Π΄Ρ‘ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, обСспСчиваСт ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² схСм (Смкости, индуктивности) ΠΎΡ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρƒ.

ΠŸΡ€ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΉΡˆΠΈΠΌ элСмСнтом любой ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ являСтся ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ – участок токопроводящСго покрытия, нанСсСнного Π½Π° изоляционноС основаниС.

Иногда нСпосрСдствСнно Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ тСхнологичСскиС процСссы нанСсСния токопроводящСго ΠΈΠ»ΠΈ изоляционного покрытия, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ радиоэлСмСнты (ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠ°Ρ‚ΡƒΡˆΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Ρ‹ Ρ€Π°Π·ΡŠΠ΅ΠΌΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Π΄Ρ€.). Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ элСмСнты Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ. БистСма ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ радиоэлСмСнтов, нанСсСнных Π½Π° изоляционноС основаниС, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ схСму.

По конструкции ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Π½Π° однослойныС ΠΈ многослойныС.

ΠžΠ΄Π½ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ (ОПП) всСгда ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ изоляционный слой, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ находятся ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ. Если ΠΎΠ½ΠΈ располоТСны Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сторонС изоляционного основания, Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ одностороннСй ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ΠΎΠΉ, Π° Ссли с Π΄Π²ΡƒΡ… сторон – двустороннСй ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ΠΎΠΉ.

Многослойная пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° состоит ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв, ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ соСдинСния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, располоТСнными Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… слоях, ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΉ доступ ΠΊ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ участкам ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв для ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΊ Π½ΠΈΠΌ радиоэлСмСнтов.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ изготовлСния изоляционной ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠΎΠΌ состоит ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡ… основных ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ: 1) созданиС изобраТСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² (копирования изобраТСния с Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π° Π½Π° ΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ слой; нанСсСниС (ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΡŒ) изобраТСния Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ краской Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· сСтчатый Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ ΠΈΠ»ΠΈ офсСтным способом. 2) Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ токопроводящСго слоя Π½Π° изоляционном основании.

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΊ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΡƒ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠ°ΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ навСсного радиоэлСмСнта, Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΡƒ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ участка с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ (ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒΡŽ). ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ отвСрстиС ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ использовано для соСдинСния Π΄Π²ΡƒΡ… ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², располоТСнных Π½Π° Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… слоях многослойной ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ химичСский ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ для получСния одностороннСй ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

7.2. ЭлСктричСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠΉ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ с изоляционным основаниСм ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΡƒΡŽ ΠΎΡ‚Π΄Π°Ρ‡Ρƒ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»Π° ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° изоляционной ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π΅ пространство, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΡ€ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΠΊΠΈ. Для ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², располоТСнных Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΈΡ… слоях, допускаСтся ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π΄ΠΎ 20 А/ΠΌΠΌ2, Π° для Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв – Π΄ΠΎ 15 А/ΠΌΠΌ2. Π’ Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ допускаСтся Ρ‚ΠΎΠΊ I ≀ 30 А/ΠΌΠΌ2. ДопустимоС Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π΅ напряТСниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя располоТСнными рядом ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ зависит ΠΎΡ‚ минимального Π·Π°Π·ΠΎΡ€Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ (Ρ‚Π°Π±Π». 7.1)

Для многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ допустимоС напряТСниС Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ 250 Π’. Π‘ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°ΡΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π΅

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠœΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ располоТСнными ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ связи Π·Π° счСт ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡Π΅ΠΊ ΠΏΠΎ изоляции, ΠΈ СмкостныС связи.

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

7.3. ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» для изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

Для изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ химичСским ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΒ­Π±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ листовой ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ изоляционного основания с ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅Π΅Π½Β­Π½ΠΎΠΉ ΠΊ Π½Π΅ΠΌΡƒ мСталличСской Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ (Ρ‚Π°Π±Π». 7.2).

Π’ зависимости ΠΎΡ‚ назначСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² качСствС изоляционного снования ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π² основном гСтинакс ΠΈ стСклотСкстолит Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹. Π€ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΎΠ½Π° ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠΌΠΈ проводящими свойствами. Для многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³o ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ изоляционныС ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈΠ· Π»Π°ΠΊΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ. НомСнклатура Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСмых ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π² Ρ‚Π°Π±Π». 7.2. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ гСтинакс с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 1,5 – 3 ΠΌΠΌ, ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈ Π“Π€-1-35.

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

Π€ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ гСтинакс уступаСт ΠΏΠΎ элСктричСским ΠΈ мСханичСским свойствам стСклотСкстолиту ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² настоящСС врСмя (ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π°) Π² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ влаТности.

7.4. ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ конструкции ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Для основных классов конструкций Ρ€ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π² Ρ‚Π°Π±Π».7.3 ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ расстояний ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ

Π’Π°Π±Π». 7.3. ΠΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π² ΠΌΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ расстояний ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ (рис.7.1)

Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ

Π’Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Π’Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

ΠœΡ‹ рассматриваСм Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Β«ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽΒ» Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ лишниС участки ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ химичСского травлСния. Помимо этого, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ фрСзСрования ΠΈΠ»ΠΈ с использованиСм элСктроискровой установки. Однако эти способы Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ распространСния Π½ΠΈ Π² Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠΉ срСдС, Π½ΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ (хотя ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° примСняСтся Π² Ρ‚Π΅Ρ… случаях, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ быстро ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ нСслоТныС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… количСствах).

ОсобСнно Ρ…ΠΎΡ‚Π΅Π»ΠΎΡΡŒ Π±Ρ‹ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях слСдуСт ΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΌΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ схСмы ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ большС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² для повСрхностного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях позволяСт развСсти практичСски всю схСму Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сторонС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Бвязано это с Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄ΠΎ сих ΠΏΠΎΡ€ Π½Π΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π΅Π½ΠΎ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ осущСствимой Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π² случаС, Ссли Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΡƒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π΅ удаСтся Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сторонС, слСдуСт Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΡƒ Π½Π° Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ сторонС с использованиСм Π² качСствС мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ², установлСнных Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π² этом случаС придСтся ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠ°ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ с Π΄Π²ΡƒΡ… сторон ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ΠšΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎ, ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ способы Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‹ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий (использованиС Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, вставлСнного Π² отвСрстиС ΠΈ припаянного ΠΊ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌ с ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ… сторон ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹; использованиС ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… пистонов), ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ всС ΠΎΠ½ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ сущСствСнныС нСдостатки ΠΈ Π½Π΅ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹ Π² использовании. Π’ идСальном случаС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сторонС с использованиСм минимального количСства ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΡ‹Ρ‡Π΅ΠΊ. ΠžΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠΌΡΡ Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½Π΅Π΅ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ· этапов изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.

ΠŸΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ

Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ этап являСтся Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ повСрхности Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΊ нанСсСнию Π½Π° Π½Π΅Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия. Π’ Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ Π·Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΠΊ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ тСхнология очистки повСрхности Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΠ΅Π»Π° сколько-Π½ΠΈΠ±ΡƒΠ΄ΡŒ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ. Π’Π΅ΡΡŒ процСсс сводится ΠΊ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ окислов ΠΈ загрязнСний с повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с использованиСм Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… срСдств ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌΡƒ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ.

Для удалСния ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… загрязнСний ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΠ·Π΅Ρ€Π½ΠΈΡΡ‚ΡƒΡŽ Π½Π°ΠΆΠ΄Π°Ρ‡Π½ΡƒΡŽ Π±ΡƒΠΌΠ°Π³Ρƒ (Β«Π½ΡƒΠ»Π΅Π²ΠΊΡƒΒ»), мСлкодиспСрсный Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ любоС Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ΅ срСдство, Π½Π΅ ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ Π½Π° повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ… Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½. Иногда ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ просто Π²Ρ‹ΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ТСсткой ΠΌΠΎΡ‡Π°Π»ΠΊΠΎΠΉ для ΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒΡ посуды с ΠΌΠΎΡŽΡ‰ΠΈΠΌ срСдством ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠΌ (для этих Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½ΡƒΡŽ ΠΌΠΎΡ‡Π°Π»ΠΊΡƒ для ΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒΡ посуды, которая ΠΏΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ° Π½Π° Π²ΠΎΠΉΠ»ΠΎΠΊ с ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠΌΠΈ вкраплСниями ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ-Ρ‚ΠΎ вСщСства; часто такая ΠΌΠΎΡ‡Π°Π»ΠΊΠ° Π±Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π°ΠΊΠ»Π΅Π΅Π½Π° Π½Π° кусок ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ»ΠΎΠ½Π°). ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΈ достаточно чистой повСрхности ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΡƒΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ этап Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ сразу ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΉΡ‚ΠΈ ΠΊ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ.

Π’ случаС наличия Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ толстой оксидной ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π΅Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 3–5 сСкунд раствором Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅. Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ нСпосрСдствСнно ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ нанСсСниСм Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия, Π»ΠΈΠ±ΠΎ послС Π΅Π΅ провСдСния Ρ…Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ Π² Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΌ мСстС, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Π½Π° свСту мСдь быстро окисляСтся.

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ этап ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ. Для этого ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ кусочСк мягкой Ρ‚ΠΊΠ°Π½ΠΈ, Π½Π΅ ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½, смочСнный спиртом, Π±Π΅Π½Π·ΠΈΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΎΠ½ΠΎΠΌ. Π—Π΄Π΅ΡΡŒ слСдуСт ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° чистоту повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ послС обСзТиривания, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Π² послСднСС врСмя стали ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΎΠ½ ΠΈ спирт со Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ количСством примСсСй, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ послС высыхания Π±Π΅Π»ΠΎΠ²Π°Ρ‚Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄Ρ‹. Если это Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‚ΠΎ стоит ΠΏΠΎΠΈΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ состав. ПослС обСзТиривания ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ слСдуСт ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅. ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ очистки ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ, наблюдая Π·Π° ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒΡŽ смачивания Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ повСрхности ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ΠŸΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ смочСнная Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π±Π΅Π· образования Π½Π° Π½Π΅ΠΉ капСль ΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²ΠΎΠ² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹, являСтся ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ уровня очистки. ΠΠ°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² этой ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π΅Π½Π° нСдостаточно.

НанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия

НанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия являСтся самым Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ этапом Π² процСссС изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠΌ Π½Π° 90 % опрСдСляСтся качСство ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Π’ настоящСС врСмя Π² Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠΉ срСдС Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ популярными ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Ρ€ΠΈ способа нанСсСния Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия. ΠœΡ‹ ΠΈΡ… рассмотрим Π² порядкС возрастания качСства ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΡ… использовании ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ этапом являСтся ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π°. Π’ Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ, Π½Π°ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π°Π² рисунок ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π° Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π΅ Π½Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ особоС Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ плотности Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° Π½Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π΅, для Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π² настройках ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π° всС Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΡ‹ экономии Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€Π° ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ качСства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Ρ„ΠΈΡ€ΠΌΡ‹ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° Π½Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ»ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Ρ€Π΅ β€” ΠΏΡ€ΠΈ этом Π²Π°ΠΌ Π³Π°Ρ€Π°Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ качСствСнный Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚.

На Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ этапС Π½Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈ ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ наносится тонкая ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° фоторСзиста. ДСлаСтся это ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ распылСния Π΅Π³ΠΎ с расстояния порядка 20 см. ΠŸΡ€ΠΈ этом слСдуСт ΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΌΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΊ максимальной равномСрности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ покрытия. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ отсутствиС ΠΏΡ‹Π»ΠΈ Π² процСссС распылСния β€” каТдая попавшая Π² фоторСзист ΠΏΡ‹Π»ΠΈΠ½ΠΊΠ° Π½Π΅ΠΌΠΈΠ½ΡƒΠ΅ΠΌΠΎ оставит свой слСд Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅.

ПослС нанСсСния слоя фоторСзиста Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ²ΡˆΡƒΡŽΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡƒ. Π”Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ это рСкомСндуСтся ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 70 oC–80 oC, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ сначала Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ нСбольшой Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΈ лишь Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ постСпСнно довСсти Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ Π΄ΠΎ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ значСния. ВрСмя ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ составляСт порядка 20–30 ΠΌΠΈΠ½. Π’ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ΠΌ случаС допускаСтся ΡΡƒΡˆΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 24 часов. ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с нанСсСнным фоторСзистом Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Ρ…Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π² Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΡ…Π»Π°Π΄Π½ΠΎΠΌ мСстС.

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ послС нанСсСния фоторСзиста этапом являСтся экспонированиС. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ накладываСтся Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ (ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ стороной ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ ΠΊ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅: это способствуСт ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ чСткости ΠΏΡ€ΠΈ экспонировании), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ приТимаСтся Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌ стСклом ΠΈΠ»ΠΈ куском плСксигласа. ΠŸΡ€ΠΈ достаточно Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ для ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΡ€Ρ‹ΡˆΠΊΡƒ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΠ±ΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡ‚-диска Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΡ‹Ρ‚ΡƒΡŽ ΠΎΡ‚ ΡΠΌΡƒΠ»ΡŒΡΠΈΠΈ фотопластинку. ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ максимума ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° соврСмСнных фоторСзистов приходится Π½Π° ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½, для засвСтки ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π»Π°ΠΌΠΏΡƒ с большой Π΄ΠΎΠ»Π΅ΠΉ Π£Π€-излучСния Π² спСктрС (Π”Π Π¨, Π”Π Π’ ΠΈ Π΄Ρ€.). Π’ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ΠΌ случаС, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΎΡ‰Π½ΡƒΡŽ ΠΊΡΠ΅Π½ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡƒΡŽ Π»Π°ΠΌΠΏΡƒ. ВрСмя экспонирования зависит ΠΎΡ‚ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ (Ρ‚ΠΈΠΏ ΠΈ ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π»Π°ΠΌΠΏΡ‹, расстояниС ΠΎΡ‚ Π»Π°ΠΌΠΏΡ‹ Π΄ΠΎ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя фоторСзиста, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия ΠΈ Π΄Ρ€.) ΠΈ подбираСтся ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ. Однако Π² Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ врСмя экспонирования составляСт ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 10 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ экспонировании ΠΏΠΎΠ΄ прямыми солнСчными Π»ΡƒΡ‡Π°ΠΌΠΈ.

ΠŸΡ€ΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° фоторСзистов осущСствляСтся раствором Π΅Π΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Ρ‚Ρ€Π° (NaOH) β€” 7 Π³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠΎΠ² Π½Π° Π»ΠΈΡ‚Ρ€ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹. Π›ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ всСго ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ свСТСприготовлСнный раствор, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ 20Β°C–25Β°C. ВрСмя проявлСния зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ фоторСзиста ΠΈ находится Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… ΠΎΡ‚ 30 сСкунд Π΄ΠΎ 2 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚. ПослС проявлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ Π² ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… растворах, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ фоторСзист устойчив ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ кислот. ΠŸΡ€ΠΈ использовании качСствСнных Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ фоторСзиста позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ 0,15–0,2ΠΌΠΌ.

Π˜Π·Π²Π΅ΡΡ‚Π½ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ составов для химичСского стравливания ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ВсС ΠΎΠ½ΠΈ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ протСкания Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ, составом Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ вСщСств, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄ΠΎΡΡ‚ΡƒΠΏΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… для приготовлСния раствора химичСских Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠ². НиТС ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° информация ΠΎ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ популярных растворах для травлСния.

ΠžΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, свСрловка, нанСсСниС Ρ„Π»ΡŽΡΠ°, Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅

ПослС Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ травлСния ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия. Π‘Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ это ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠΌ-Π»ΠΈΠ±ΠΎ органичСским растворитСлСм, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΎΠ½ΠΎΠΌ.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΡ‚ΡŒ всС отвСрстия. Π”Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ это Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ остро Π·Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ свСрлом ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΠΎΡ‚Π°Ρ… элСктродвигатСля. Π’ случаС, Ссли ΠΏΡ€ΠΈ нанСсСнии Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π΅ Π±Ρ‹Π»ΠΎ оставлСно пустого мСста, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ отвСрстия (ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ это ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, шилом). ΠŸΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ½ΠΎΠ΅ усилиС Π² процСссС свСрлСния Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ слишком большим, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ сторонС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π±ΡƒΠ³ΠΎΡ€ΠΊΠΈ Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ отвСрстий. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ элСктродрСли практичСски Π½Π΅ подходят для свСрлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ, Π²ΠΎ-ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Ρ…, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΠΎΡ‚Ρ‹, Π° Π²ΠΎ-Π²Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ…, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ достаточно большой массой, Ρ‡Ρ‚ΠΎ затрудняСт Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ усилия. Π£Π΄ΠΎΠ±Π½Π΅Π΅ всСго для свСрлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ элСктродвигатСли Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π”ΠŸΠœ-35Н ΠΈ ΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Π΅ с насаТСнным Π½Π° ΠΈΡ… Π²Π°Π» нСбольшим Ρ†Π°Π½Π³ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ°Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΎΠΌ. ПослС свСрловки Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ отвСрстия: ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ всС Π·Π°Π·ΡƒΠ±Ρ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ заусСнцы. Π‘Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ это ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΆΠ΄Π°Ρ‡Π½ΠΎΠΉ Π±ΡƒΠΌΠ°Π³ΠΎΠΉ.

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ этапом являСтся ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ„Π»ΡŽΡΠΎΠΌ с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. МоТно ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ„Π»ΡŽΡΡ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ изготовлСния (Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ всСго смываСмыС Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΎΠΎΠ±Ρ‰Π΅ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ смывания) Π»ΠΈΠ±ΠΎ просто ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ слабым раствором ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ„ΠΎΠ»ΠΈ Π² спиртС. Π›ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ двумя способами: ΠΏΠΎΠ³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² расплав припоя Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ паяльника ΠΈ мСталличСской ΠΎΠΏΠ»Π΅Ρ‚ΠΊΠΈ, ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ. Π’ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ случаС Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π½ΡƒΡŽ Π²Π°Π½Π½ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ ΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Π΅Π΅ нСбольшим количСством сплава Π ΠΎΠ·Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π’ΡƒΠ΄Π°. Расплав Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ свСрху слоСм Π³Π»ΠΈΡ†Π΅Ρ€ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ окислСния припоя. Для нагрСвания Π²Π°Π½Π½ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π²Π΅Ρ€Π½ΡƒΡ‚Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ‚ΡŽΠ³ ΠΈΠ»ΠΈ элСктроплитку. ΠŸΠ»Π°Ρ‚Π° погруТаСтся Π² расплав, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ вынимаСтся с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ излишков припоя Ρ€Π°ΠΊΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΠΈΠ· Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΉ Ρ€Π΅Π·ΠΈΠ½Ρ‹.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠ΅ ΠΌΡ‹ ΠΏΠΎΡΡ‚Π°Ρ€Π°Π»ΠΈΡΡŒ ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ всС Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Π΅ для примСнСния Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. ИспользованиС соврСмСнных фоторСзистов ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π° ΠΈ ΡƒΡ‚ΡŽΠ³Π° позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ достаточно Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠ΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρƒ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ появляСтся Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с минимальной ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° порядка 0,2-0,3 ΠΌΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΅Ρ‰Π΅ Π΄Π΅ΡΡΡ‚ΡŒ Π»Π΅Ρ‚ Π½Π°Π·Π°Π΄ Π±Ρ‹Π»ΠΎ практичСски нСдостиТимым Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ сСрийном производствС.

Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ

Π₯арактСристика cΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ рисунка ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° слоях ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

НаиболСС ΠΎΠ±Ρ‰ΠΈΠΌΠΈ показатСлями уровня ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ². ВСндСнция развития ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ характСризуСтся ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² (рис.1) ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ количСства мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π·Π° счСт ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ использования повСрхностных ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ для присоСдинСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² (рис. 2).

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π΄Π²Π° Π²ΠΈΠ΄Π° Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ получСния проводящСго рисунка слоСв ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚:

    Π½Π° основС субтрактивных ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ²
    Π½Π° основС Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ формирования

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

Π’Ρ€Π΅Ρ‚ΠΈΠΉ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ (рис.5) примСняСтся, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ слоСв ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ вытравливания проводящСго рисунка ΠΏΠΎ мСталлорСзисту, осаТдСнному Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²,сформированных Π² Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста, ΠΈ Π½Π° стСнки ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий. Как ΠΈ Π²ΠΎ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π΅, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ фоторСзист наслаиваСтся Π½Π° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика, ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ свСрлСния отвСрстий ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ (5-7 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ мСдью стСнок отвСрстий ΠΈ всСй повСрхности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ. Π’ процСссС Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ рСзиста Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° мСстах повСрхности ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌΡƒ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.

ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΠΈΠΉ рисунок формируСтся ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ осаТдСниСм ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ мСталлорСзиста ΠΏΠΎ рисунку освобоТдСний Π² Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ стСнок отвСрстий. ПослС удалСния Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ слои ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. ΠŸΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»ΡŒ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ сСчСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², сформированный Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ Π² фоторСзистС,ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Ρ€Π°ΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠΈ, располоТСнной большим основаниСм Π½Π° повСрхности диэлСктрика.

Анализ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ послС травлСния ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΏΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΌ фоторСзистС ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π» разброса Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² увСличиваСтся с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ. НапримСр, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 5 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π» разброса ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ порядка 7 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 20 ΠΌΠΊΠΌ разброс составляСт 30 ΠΌΠΊΠΌ, Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 35 ΠΌΠΊΠΌ разброс составляСт ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 50 ΠΌΠΊΠΌ. ИскаТСния ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ послСдних Π² фоторСзистС ΠΈ Π½Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π΅ β€” Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π΅ ΡΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² сторону зауТСния.

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхностСй Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠ΄ наслаиваниС ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ удалСния заусСнцСв свСрлСных отвСрстий ΠΈ наростов Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ производится мСханичСской зачисткой Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π°ΠΌΠΈ с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ химичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ Π² растворС ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония ΠΈΠ»ΠΈ мСханичСской зачисткой Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΠΌΠ·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ суспСнзиСй. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ адгСзию ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста ΠΊ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ повСрхности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° опСрациях проявлСния ΠΈ травлСния. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, мСханичСская зачистка ΠΏΠ΅ΠΌΠ·ΠΎΠΉ Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ свСта, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ экспонированиС фоторСзиста.

Для получСния ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ фоторСзист Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 15-50 ΠΌΠΊΠΌ. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° фоторСзиста Π² случаС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Β«Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³Β» диктуСтся трСбованиями цСлостности Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… завСсок Π½Π°Π΄ отвСрстиями Π½Π° опСрациях проявлСния ΠΈ травлСния, ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… Ρ€Π°Π·Π±Ρ€Ρ‹Π·Π³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ растворов ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ 1,6- 2 Π°Ρ‚ΠΌ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅. ЀоторСзисты Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 45 β€” 50 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π° этих опСрациях Π½Π°Π΄ отвСрстиями Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ. Для обСспСчСния Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Β«Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³Π°Β», Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π² 1,4 Ρ€Π°Π·Π° большС Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° отвСрстия.

ΠœΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ поясок изобраТСния ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ (ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΡ€Π°Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ отвСрстиСм) Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0,1 ΠΌΠΌ.

ЀоторСзист наслаиваСтся ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Ρ€Π°Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΡƒ: ΠΏΡ€ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ скорости наслаивания 0,5 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° Π²Π°Π»ΠΊΠΎΠ² 115 Π³Ρ€Π°Π΄.Π‘ Β±5 Π³Ρ€Π°Π΄.Π‘, Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³Ρ€Π΅Ρ‚Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ 60 β€” 80 Π³Ρ€Π°Π΄.Π‘ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ экспонировании изобраТСния ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ установки с Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ источником свСта, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ высококоллимированный интСнсивный свСтовой ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ Π½Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π°ΠΌΡ‹ с автоматичСским Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π΅ΠΌ свСтовой энСргии.

ПослС удалСния фоторСзиста производится Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ с ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ слоСм суммарной Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 10-15 ΠΌΠΊΠΌ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст схСмы. Для этого примСняСтся Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ установка с ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ°ΠΌΠΌΠΈΠ°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ раствором. Π’ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π΅ использования мСталлорСзиста ПОБ-61 послСдний удаляСтся Π² Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ растворС Π² струйной ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ установкС. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π² качСствС мСталлорСзиста никСля ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ слой никСля остаСтся Π½Π° повСрхности ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ нСсколько ΡˆΠΈΡ€Π΅ Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ части. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСталлорСзиста сплава ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ/свинСц с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Π΅Π³ΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ являСтся Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ процСссом.

Из ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄: ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ слоСв ΠΏΠΎ субтрактивной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ диэлСктриков с Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 5 β€” 9 ΠΌΠΊΠΌ обСспСчиваСтся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ проводящСго рисунка с минимальной ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π·Π°Π·ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ порядка 50 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 5-9 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ 100 β€” 125 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 40-50 ΠΌΠΊΠΌ.

ВСхнология формирования слоСв ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ПАЀОБ

Π’ случаС слоСв Π±Π΅Π· мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² мСдная шина стравливаСтся (схСма процСсса ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π½Π° рис.6.Π°). ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ двухсторонних слоСв с мСТслойными ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ проводятся ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ получСния мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ отвСрстий с ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, послС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ ΡΡ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ (рис.6.Π±). ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΠΈΠΉ рисунок, ΡƒΡ‚ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π² диэлСктрик ΠΈ свСрху Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ слоСм никСля, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ Π½Π΅ подвСргаСтся Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ раствора.ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ проводящСго рисунка ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΉ ΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ освобоТдСний Π² Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста, Ρ‚.Π΅. процСссами Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡ…ΠΈΠΌΠΈΠΈ.

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

Π›ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π΅ качСство ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ Π½Π° «носитСлях» обСспСчиваСтся зачисткой Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ суспСнзиСй ΠΏΠ΅ΠΌΠ·Ρ‹. Однако, мСханичСская зачистка Π½Π΅ всСгда ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΠ°, Ρ‚.ΠΊ. ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΠ½Ρ‹, особСнно Π½Π° «носитСлях» Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ².

ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ Π² растворС ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония Π½Π° струйных ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… установках. Π­Ρ‚Π° ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° обСспСчиваСт адгСзию ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° опСрациях Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ формирования проводящСго рисунка ΠΈ Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ оксидирования. Условия провСдСния ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ экспонирования для получСния ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΌ фоторСзистС с Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ 50 β€” 100 ΠΌΠΊΠΌ:

    Π€ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Ρ‹ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ высокиС оптичСскиС характСристики- оптичСская ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0,1 Π΅Π΄.оптичСской плотности, Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 3,5 Π΅Π΄. оптичСской плотности, Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ края изобраТСния Π½Π΅ Ρ…ΡƒΠΆΠ΅ 2 β€” 3 ΠΌΠΊΠΌ.
    ЭкспонированиС ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π½Π° установках с Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ источником свСта с высококоллимированным интСнсивным свСтовым ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ, с автоматичСским Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π΅ΠΌ свСтовой энСргии. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΊΠΎΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ повСрхности Π² процСссС экспонирования Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ помСщСния Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅, Ρ‡Π΅ΠΌ Π½Π° 3 β€” 5 ΠΎΠ‘ (Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° помСщСния 21 Β±1 ΠΎΠ‘).
    ΠŸΡ€ΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π² струйных установках с форсунками срСднСго ΠΈ высокого давлСния. ПослС проявлСния ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ удалСния слСдов ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ с повСрхности ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ Π² ΡƒΠ·ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π°Ρ… рисунка освобоТдСний Π² Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста слСдуСт ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ Π² 20% растворС сСрной кислоты Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2-Ρ… ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚.

ΠŸΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ провСдСния ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π² окислитСлС Ρ‚Π° ΠΆΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ Π² случаС получСния ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ высокоплотных схСм ΠΏΠΎ субтрактивной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ диэлСктрика с Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ.

ΠŸΡ€ΠΈ обСспСчСнии ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… условий провСдСния процСссов получСния ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… фоторСзистах достигаСтся ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅:

    Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ сформированных ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… фоторСзистов Π½Π° высотС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ уровнями ΠΎΡ‚ 0,2 Π΄ΠΎ 0,7 Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ фоторСзиста Ρ€Π°Π²Π½Π° ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π΅ изобраТСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π½Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π΅, ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π» разброса Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 5 β€” 10 ΠΌΠΊΠΌ;
    ИскаТСния ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° повСрхности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π½Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π΅ Π² срСднСм ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚ 10 ΠΌΠΊΠΌ Π΄ΠΎ 20 ΠΌΠΊΠΌ.;
    Π‘ΡƒΠΌΠΌΠ°Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π» разброса ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎ всСй высотС Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 15 β€” 20 ΠΌΠΊΠΌ.

ΠŸΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста зависит ΠΎΡ‚ примСняСмой ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ установки. ΠŸΡ€ΠΈ экспонировании Π½Π° установках с ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ систСмой, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΈΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ высокоинтСнсивных свСтовых Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ ΠΈ отсутствиС Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ ΠΊΠΎΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ повСрхности, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Π½Π° модСлях HMW-201 ΠΈ OPTI-BEAM 7100, Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ€ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ стСнки с ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠΌ ΠΊ повСрхности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

Π›Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ рисунка ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ «ПАЀОБ»

ΠŸΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Ρ€Π΅ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ комплСксно с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ создания Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ оборудования ΠΈ исслСдования ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΉ Π΅Π³ΠΎ построСния, Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС исслСдованиС Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠ² с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ установлСния пригодности ΠΈΡ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² для Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ тСхнологичСских Π·Π°Π΄Π°Ρ‡.

Π’ тСхнологичСском аспСктС Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ нСпосрСдствСнного Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ формирования рисунка Π² диэлСктрикС. Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°ΠΌΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π½Π° сочСтаниС с Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ ПАЀОБ, которая обСспСчиваСт Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ проводящСго рисунка схСм с ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 50 ΠΌΠΊΠΌ Π² слоях свСрхплотных МПП, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ это Π½Π΅ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ возмоТности ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ использования Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… тСхнологиях изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. НСсмотря Π½Π° всС ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²Π° Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ изготовлСния Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ΠΎΠ² (Π€Π¨) остаСтся ряд сущСствСнных ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ, Π·Π°ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΈΡΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΏΡƒΡ‚ΠΈ прямого формирования рисунка схСм Π±Π΅Π· примСнСния Π€Π¨.

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π½Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅, Π²ΠΎ врСмя Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ с Π½ΠΈΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ влаТности мСняСт свои Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π€Π¨ зависит ΠΎΡ‚ точности ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Ρ‚Π΅Ρ€Π° ΠΈ точности устройств, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ отвСрстия. К тСхничСским ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ°ΠΌ Π² Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния Π€Π¨ слСдуСт отнСсти ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ получСния Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅ 100 ΠΌΠΊΠΌ, Π² Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ Π² настоящСС врСмя созрСла Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 50 ΠΌΠΊΠΌ.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π€Π¨ с линиями 50 ΠΌΠΊΠΌ возрастаСт влияниС чистоты ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΉ.

ΠžΡ†Π΅Π½ΠΈΠ²Π°Ρ прСимущСства Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ формирования рисунка Π½Π° рСзистС, наши усилия Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Ρ‹ Π½Π° созданиС Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ простого ΠΈ дСшСвого оборудования ΠΈ примСнСния для этих Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ БО2 Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π°, ΠΊΠ°ΠΊ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ доступного для ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ пользования. БО2 Π»Π°Π·Π΅Ρ€Ρ‹ простыС Π² обслуТивании, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ большим рСсурсом ΠΈ достаточной ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Ρ‹ для формирования Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π½ΠΎΠ³ΠΎ рисунка Π² производствС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

ΠŸΡ€Π΅Π΄Π΅Π» Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ способности Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ формирования опрСдСляСтся возмоТностями оптичСской систСмы, ΠΌΠΎΠ΄ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ составом Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ излучСния, Ρ€Π°ΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π° ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ. ΠŸΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ Π»ΡƒΡ‡ БО2 Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΠΎΠ΄ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ состава ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ сфокусирован Π² Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΡƒ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 35-40 ΠΌΠΊΠΌ.

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ формования рисунка нСпосрСдствСнно Π² диэлСктрикС ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ процСссы изготовлСния Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ всС ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ фотолитографичСскиС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ трСбованиям Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ПАЀОБ. ΠŸΡ€ΠΈ этом ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ сущСствСнно увСличится Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΈ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Ρ‚ΡŒΡΡ.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Π—Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ двухсторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈ прСссованныС ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Ρ‹ многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π½Π° повСрхности ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 5 ΠΌΠΊΠΌ, 20 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ 35 ΠΌΠΊΠΌ.

ВСхнологичСская схСма получСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с мСТслойными ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ (сквозными ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями) ΠΏΠΎ тСхнологичСской ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ выполнСния ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΠΈΠΉ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ субтрактивной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΈΠ»ΠΈ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ β€” Β«Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³Β» ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄. Богласно тСхнологичСской схСмС ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ мСталлизация свСрлСнных ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ΠΎΠ² многослойных ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠΎ повСрхности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎ повСрхности стСнок отвСрстий производится Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ 7-10 ΠΌΠΊΠΌ.

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

Для изготовлСния Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Β«Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ½Π³Β» схСма процСсса ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π½Π° рис.8. На рис. 9 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ‚Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ Π² основном Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅Π½ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ для Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… слоСв.

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с Π³Π»ΡƒΡ…ΠΈΠΌΠΈ мСТслойными ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ

По ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ увСличСния плотности связСй ΠΈ выполнСния ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… условий распрСдСлСния Ρ‚ΠΎΠΊΠ° питания, экранирования ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ уровня пСрСкрСстных ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ… Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ объСма использования Π² радиоэлСктронных издСлиях чСтырСхслойных (рис.10) ΠΈ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Ρ… (рис.11) ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌ структурным элСмСнтом чСтырСхслойных ΠΈ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с Π³Π»ΡƒΡ…ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ двухслойныС Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ с ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ мСТслойными ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.

Π˜ΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Ρ€ΠΈ разновидности Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… двухслойных ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ:

    ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ…, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ, послС прСссования ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΈ сквозных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ²;
    ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ… сторонах двухслойных Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ, послС прСссования, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ сквозных мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ²;
    ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² двухсторонних Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ…, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ, послС прСссования, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ сквозных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

Высокая ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ высокой ΠΈΡ… надСТности достигаСтся Π² мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°Ρ… Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π³Π»ΡƒΡ…ΠΈΠ΅ отвСрстия, Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π°. ВыбираСмая ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°, большая ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ контактирования, ΡΠΏΠΈΡ‚Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ слой ΠΈ короткая Π΄Π»ΠΈΠ½Π°, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ простых конструкций ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π’ этих ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… для получСния достаточной устойчивости ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ опСрациях ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ Π²ΠΎ врСмя ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΈ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ этих ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ снизу Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ². ΠžΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ использованиС мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² для замоноличивания ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ позволяСт сущСствСнно ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоях ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ условия повСрхностного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° микросхСм с ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ шагом Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

Π’ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΏΠΎ описанной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡΠ»ΠΎΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… рСализуСтся ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΡ‚ 50 ΠΌΠΊΠΌ, Π·Π°Π·ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΎΡ‚ 100 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² 35 β€” 40 ΠΌΠΊΠΌ, Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π΅ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΡ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий ΠΎΡ‚ 100 β€” 125 ΠΌΠΊΠΌ, Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π΅ сквозных отвСрстий ΠΎΡ‚ 300 ΠΌΠΊΠΌ.

МоТно ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ изоляционный ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» β€” стСклоэпоксид ΠΈΠ»ΠΈ стСклополиимид. Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΎΡ‚ 200Γ—260 ΠΌΠΌ.

ΠžΡ‚ систСмы базирования Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ зависит Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ элСмСнтов рисунка, Π·Π°Π·ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ, Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΈ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ² ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ, Π² ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΌ счСтС, надСТности ΠΈ стоимости издСлия.

ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ слоями

Для получСния Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅ΠΉ конструкции устройства Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ Π² соотвСтствии с условиями ΠΈΡ… примСнСния ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ характСристиками (Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡƒΠ΄Π°Ρ€, вибрация ΠΈ Ρ‚.Π΄.) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ мСханичСскиС условия Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹. Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ ИБ Π½Π° ТСсткой ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ,Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π»Π°ΡΡŒ эффСктивная Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡Π° ΠΎΡ‚ кристаллов ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ элСмСнтам конструкции устройства, Π° возмоТности Ρ€Π°Π·Π²ΠΎΠ΄ΠΊΠΈ элСктричСских связСй Π½Π΅ ΡƒΡ‰Π΅ΠΌΠ»ΡΠ»ΠΈΡΡŒ.

ΠŸΡ€ΠΈ использовании ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ПАЀОБ для изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ имССтся большой запас плотности размСщСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ мСТслойных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π’ этом случаС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° Π΄Π²Π° Π²ΠΈΠ΄Π°: ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ β€” ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ для ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ элСктричСских сигналов, Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ β€” ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ мСТслойныС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ для Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΎΡ‚ микросхСм Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

ΠŸΠ°ΡΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ маски для Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½Ρ‹Ρ… слоСв ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚
НанСсСниС паяСмых ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ способов для нанСсСния паяСмого покрытия Π½Π° ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. Π”Π²Π° Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ популярных ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° β€” двойная ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΡŒ рСзиста ΠΈ Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ с Π²Ρ‹Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ припоя горячим Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ (HAL,HASL). Π’ Ρ‚ΠΎ врСмя ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π΄Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚: чисто ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ паяльной маской, Π° всС паяСмыС повСрхности ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ, эти ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΡ… Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π΄Π²ΡƒΡ…Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ нанСсСниС фоторСзиста, для создания чистой ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ схСмы с Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. ΠŸΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ нанСсСниС рСзиста опрСдСляСт рисунок элСктричСской схСмы. ВпослСдствии ΠΏΠΎ рисунку Π² рСзистС осаТдаСтся мСдь ΠΈ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ/свинСц. ПослС Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌ/свинцом Ρ†Π΅ΠΏΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ. Π”Π°Π»Π΅Π΅ наносится Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ слой рСзиста, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ/свинСц Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°Ρ… Π²ΠΎ врСмя удалСния ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ/свинца Π½Π° ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ…,Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‡ΠΈΡΡ‚ΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡƒΡŽ схСму.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ HASL ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ β€” нанСсСниС расплавлСнного припоя Π½Π° чистыС ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ паяльной маской Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅Π½ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌΡƒ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ. Однако,послС травлСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст удаляСтся Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ/свинСц со всСх ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… повСрхностСй ΠΈ Π΄Π°Π»Π΅Π΅ паяльная маска наносится Π½Π° чистыС ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ вся пСчатная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° окунаСтся Π² расплавлСнный 63/37 ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ,ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ наносится Π½Π° всС повСрхности свободныС ΠΎΡ‚ паяльной маски (Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ). Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ установки Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° (рис.12) ΠΈΠ»ΠΈ Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° (рис.13).

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π‘ΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΡƒ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. ΠšΠ°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…. Π€ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ создании элСктронных ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…

    покрытия ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°:

      Π˜ΠΌΠΌΠ΅Ρ€ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… химичСского никСля
      Π˜ΠΌΠΌΠ΅Ρ€ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ сСрСбро
      Π₯имичСский ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠΉ
      Π˜ΠΌΠΌΠ΅Ρ€ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ
      Π˜ΠΌΠΌΠ΅Ρ€ΡΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΠΉ
      Π₯имичСскоС Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… никСля

    Π˜ΠΌΠΌΠ΅Ρ€ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ мСталлизация β€” всСгда сСбя ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ тонкая. Для изготовитСля Π²Π°Π½Π½Ρ‹ иммСрсионной ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π»Π΅Π³Ρ‡Π΅ Ρ‡Π΅ΠΌ Π²Π°Π½Π½Ρ‹ химичСской ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

    органичСскиС покрытия связанныС с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ (составы часто основанныС Π½Π° Π±Π΅Π½Π·ΠΈΠΌΠΈΠ΄Π°Π·ΠΎΠ»Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠΌΠΈΠ΄Π°Π·ΠΎΠ»Π΅).

Благодаря физичСским свойствам Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° мСталлизация никСль/Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ стала ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠΉ повСрхности. Π’ любой элСктричСской схСмС, Π³Π΄Π΅ сопротивлСниС ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ снашиванию Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ бСспокойство, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ Π² качСствС ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„ΠΈΠ½ΠΈΡˆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ примСнСния Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° Π² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… β€” элСктромСталлизация. Для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚ΡŒ элСктропокрытиС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° всС области, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ элСктричСски связанными вмСстС (Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ шинС ΠΈΠ»ΠΈ ΡˆΡƒΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅), Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Ρ‚Π΅Ρ‡ΡŒ ΠΎΡ‚ Π°Π½ΠΎΠ΄Π° ΠΊ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ. Π—ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ Π² растворС элСктричСски стимулируСтся Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ осаТдаСтся Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ( ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄). Π₯отя никСль Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΡΠ΅Ρ‚ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅Ρ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π°, Π΅Π³ΠΎ пСрвичная функция ΡΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΌ ΠΈ мСдью. Π­Ρ‚ΠΎ прСдохраняСт мСдь ΠΎΡ‚ ΠΌΠΈΠ³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· пористый Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ слой ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ Π½Π° повСрхности.

Π˜ΠΌΠΌΠ΅Ρ€ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ химичСскоС Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ плоскиС ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ для повСрхностного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΈ Π΄Π°Π΅Ρ‚ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‰ΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Ρƒ ΡΠΌΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ.

Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ осаТдСния никСля β€” 12,5-17,0 ΠΌΠΊ/час. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡƒΠΌ 0,05ΠΌΠΊΠΌ

КакоС паяСмоС ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Π² настоящСС врСмя Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ для ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ повСрхностного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°? Π’ 1993 Π³ΠΎΠ΄Ρƒ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ использовалась ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ с Π²Ρ‹Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ горячим Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ β€” 24%, Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ припоя βˆ’22%. Π—ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… никСля ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΠΎΡΡŒ Ρƒ 17% ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ, Π° органичСскиС покрытия Ρƒ 5% ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ. Π‘ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния объСма ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… дюймов ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ часто примСняСтся Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ с Π²Ρ‹Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ горячим Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ β€” 69%, Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ/свинца βˆ’26%.

Высокая Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ обСспСчСна ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ: ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ конструкции; ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСссов изготовлСния; ТСсткого контроля ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ процСссов; испытания тСст-свидСтСлСй (тСст-ΠΏΠ»Π°Ρ‚, тСст-ΠΊΡƒΠΏΠΎΠ½ΠΎΠ²); достовСрной коррСляциСй надСТности ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² испытаний тСст-свидСтСлСй.

Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ

Π”ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ€ΠΈΠΉ

Π’Π°Ρˆ адрСс email Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΡƒΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½. ΠžΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ поля ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ *